LIQUID WAX(액상왁스)

SKYLIQUID SERIES는 AUTO MOUNTER와 SPIN COATER에서의 도포에 가장 적합하고 고평탄도
점착에 의한 고정도 WAFER의 생산요구에 대응합니다.

세정은 고순도 세정제 [KILALA CLEAN]과 기존의 SC-1을 사용하는 것으로 PARTICLE과 연무(HAZE) 발생을 최소화시켜 깨끗한 마무리가 가능합니다.

SPACELIQUID는 패턴형 웨이퍼 뒷면 연삭용으로 새롭게 개발된 고연화점 내약품성 형태의
액상왁스입니다.

기존의 SKYLIQUID와 비교하여 높은 온도가 발생하는 공정과 약품 사용 공정에 적합합니다.

도포막은 기존의 약 5~10배의 두께로 도포 가능함으로 패턴면에는 영향을 주지 않습니다.

세정은 용제로 깨끗하게 마무리됩니다.